電感耦合電漿

電感耦合電漿（英語：Inductively Coupled Plasma，縮寫：ICP）是一種通過隨時間變化的磁場電磁感應產生電流作為能量來源的電漿源。

基本介紹

• 中文名：電感耦合電漿
• 外文名：Inductively Coupled Plasma
• 領域：物理學

簡介

電感耦合電漿（英語：Inductively Coupled Plasma，縮寫：ICP）是一種通過隨時間變化的磁場電磁感應產生電流作為能量來源的電漿源。

套用

ICP源的用途主要有四種：

1. 用於電漿光譜診斷：通過分析ICP源的光譜來分析電漿原子組分，參見電感耦合電漿原子發射光譜（ICP-AES）；
2. 電感耦合等離子質譜分析技術：作為質譜分析的離子源，分析組分（ICP-MS）；
3. 用於反應離子刻蝕：通過ICP源產生低溫電漿，刻蝕材料表面，改變材料的物理與化學性質(ICP-RIE)；
4. 氣相沉積薄膜技術（rf-ICP）。

電感耦合電漿原子發射光譜

電感耦合電漿原子發射光譜法（Inductively coupled plasma atomic emission spectroscopy，縮寫ICP-AES），也稱為電感耦合電漿光學發射光譜法（inductively coupled plasma optical emission spectrometry，縮寫ICP-OES），是利用通過高頻電感耦合產生電漿放電的光源來進行原子發射光譜分析的方法。它是一種火焰溫度範圍為6000至10000K的火焰技術。該發射強度表示樣品中元素的濃度。為一種新型激發光源，性能優異，套用廣泛。

組成

主要包括電漿炬管、高頻發生器（產生高頻電流）、感應圈、供氣系統和霧化系統。炬管由三層同心石英玻璃管組成。外管內切向通入的氬氣為電漿工作氣或冷卻氣。中管通入的氬氣為輔助氣。內管中的氬氣為載氣，將試樣氣溶膠引入炬中。

原子發射光譜法

原子發射光譜法（英語：Atomic Emission Spectroscopy，縮寫AES），是一種利用受激發氣態原子或離子所發射的特徵光譜來測定待測物質中元素組成和含量的方法。為光學分析中較早誕生的分析方法之一，其雛形在1860年代即已形成。

一般步驟

1. 待測物質在激發光源中蒸發、解離、電離並被激發，產生光輻射；
2. 產生的複合光通過分光色散成光譜；
3. 檢測光譜線的波長和強度，進行分析。

套用

ICP-AES的套用實例包括測定葡萄酒中的金屬，食物中的砷，以及與蛋白質結合的微量元素。

ICP-OES廣泛套用於選礦工程過程，以提供各種物流等級的數據，用於質量平衡的構建。