電感耦合等離子發射光譜儀,是指以電感耦合電漿作為激發光源,根據處於激發態的待測元素原子回到基態時發射的特徵譜線對待測元素進行分析的儀器。待測元素原子的能級結構不同,因此發射譜線的特徵不同,據此可對樣品進行定性分析;而待測元素原子的濃度不同,因此發射強度不同,可實現元素的定量測定。ICP-AES可同時測定周期表中多數元素(金屬元素及磷、矽、砷、硼等非金屬元素),且均有較好的檢出限。根據基體特性和濃度,精密度一般優於4%。檢測器線性範圍可達到4〜5個數M級。由於氫氟酸會腐蝕玻璃進樣系統,所以在樣品測定時必須保證待測液中不含氟離子或者使用耐氫氣酸的進樣系統。