感應耦合反應離子刻蝕機

感應耦合反應離子刻蝕機是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2012年10月15日啟用。

基本介紹

• 中文名：感應耦合反應離子刻蝕機
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2012年10月15日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

4英寸內刻蝕不均勻性小於3.5%（3-sigma標準）。使用CHF3刻蝕Pyrex 7740玻璃時，刻蝕速率不低於100nm/min。對AZP光膠（120攝氏度hard bake）選擇比大於5：1。

主要功能

表面清洗、工藝加工等。