小型分子束外延系統是一種用於物理學領域的科學儀器，於2011年5月1日啟用。
基本介紹
- 中文名：小型分子束外延系統
- 產地：芬蘭
- 學科領域：物理學
- 啟用日期：2011年5月1日
技術指標,主要功能,
技術指標
三個液態源，兩個固態源，兩路氣態源。
主要功能
可以高保形型，原子層厚度逐層生長薄膜材料。
小型分子束外延系統
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