矽基分子束外延系統

矽基分子束外延系統是一種用於物理學、電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，於2016年12月8日啟用。

基本介紹

• 中文名：矽基分子束外延系統
• 產地：德國
• 學科領域：物理學、電子與通信技術
• 啟用日期：2016年12月8日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

極限真空5×10-9 Pa，最大襯底3英寸，配有RHEED和四極質譜儀。

主要功能

矽基外延材料製備。