超高真空分子束外延和線性傳輸系統

超高真空分子束外延和線性傳輸系統是一種用於材料科學領域的科學儀器，於2018年6月15日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高真空分子束外延和線性傳輸系統
• 產地：中國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2018年6月15日

技術指標

超高真空至2*10-10mbar，樣品台溫度控制精度在0.1oC，束流控制精度在0.01埃/s。

主要功能

分子束外延法生長薄膜半導體材料設備。主要研究不同結構或不同材料的晶體和超晶格的生長。超高真空至2*10-10mbar，樣品台溫度控制精度在0.1oC，束流控制精度在0.01埃/s。