超高真空分子束外延系統

超高真空分子束外延系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2017年11月2日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高真空分子束外延系統
• 產地：德國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2017年11月2日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

500 EBV。

主要功能

薄膜生長。