程控多源變溫分子束外延生長系統

程控多源變溫分子束外延生長系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2014年12月25日啟用。

基本介紹

• 中文名：程控多源變溫分子束外延生長系統
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2014年12月25日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

6個蒸發源/-100～1100℃/STM。

主要功能

用於外延生長薄膜樣品。