氧化物分子束外延生長系統

氧化物分子束外延生長系統是一種用於能源科學技術、物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2013年3月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：氧化物分子束外延生長系統
• 產地：芬蘭
• 學科領域：能源科學技術、物理學、材料科學
• 啟用日期：2013年3月31日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

超高真空：10-9 torr；多個穩定可控蒸發源；樣品台溫度800℃；束流測試精度優於0.01A/s。

主要功能

外延生長高質量單晶薄膜。