原位分子束外延系統

原位分子束外延系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2014年12月26日啟用。

基本介紹

• 中文名：原位分子束外延系統
• 產地：德國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2014年12月26日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

LAB-10/VT AFM 25。

主要功能

真空度優於10-8bar，最高加熱溫度1500K。