原子力顯微鏡系統是一種用於機械工程領域的儀器，於2016年09月28日啟用。
基本介紹
- 中文名：原子力顯微鏡系統
- 產地：中國
- 學科領域：機械工程
- 啟用日期：2016年09月28日
技術指標,主要功能,
技術指標
1.ALD腔體最高溫度可以達到400攝氏度；2.腔體極限真空度可以達到10的副5次方以下。
主要功能
為實驗室提供原位研究ALD生長機理的可能。
原子力顯微鏡系統
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