半導體化合物光電器件檢測

內容簡介

本系列叢書共分《半導體化合物光電原理》、《半導體化合物光電器件製備》、《半導體化合物光電器件檢測》三部。從ⅢA～ⅤA族半導體化合物的基本原理、光電器件製備與工藝，以及器件性能檢測等方面，較系統地介紹了相關基礎知識，適合材料，物理化學，光學，微電子學與固體電子學等專業的本科和研究生以及工程技術人員和企業相關人員閱讀。

圖書目錄

第1章透射電子顯微鏡1

1·1透射電子顯微鏡的結構與成像原理2

1·1·1電磁透鏡3

1·1·2照明系統5

1·1·3成像系統8

1·1·4觀察記錄、真空與供電系統10

1·1·5主要部件的結構和工作原理11

1·1·6目前常用電鏡的生產廠家、型號及性能13

1·2TEM樣品製備技術15

1·2·1概述15

1·2·2非金屬材料薄膜樣品的製備17

1·3透射電子顯微鏡電子的成像原理20

1·3·1成像操作21

1·3·2高分辨電子顯微像25

1·3·3電子衍射譜30

1·3·4電子衍射花樣的標定42

1·4透射電子顯微鏡在LED方面的套用45

1·4·1高分辨透射電子顯微像及選區電子衍射花樣成像46

1·4·2界面的失配位錯、堆垛層錯46

1·4·3明場像47

參考文獻48

第2章掃描電子顯微鏡49

2·1掃描電子顯微鏡50

2·1·1電子光學系統50

2·1·2信號檢測放大系統51

2·1·3顯示系統52

2·1·4真空系統52

2·1·5電源系統52

2·2掃描電子顯微鏡成像原理53

2·2·1掃描電子顯微鏡中的信號種類53

2·2·2掃描電子顯微鏡的成像原理56

2·2·3掃描電子顯微鏡像形成襯度原理57

2·2·4掃描電子顯微鏡的主要性能63

2·3掃描電子顯微鏡的樣品製備66

2·4掃描電子顯微鏡的性能和特點66

2·5掃描電子顯微鏡的能譜儀67

2·6掃描電子顯微鏡在LED中的套用67

參考文獻70

第3章原子力顯微鏡71

3·1原子力顯微鏡的主要構件71

3·2原子力顯微鏡的結構73

3·2·1力檢測部分73

3·2·2位置檢測部分73

3·2·3反饋系統73

3·3原子力顯微鏡的原理及工作模式74

3·3·1原子力顯微鏡的原理74

半導體化合物光電器件檢測

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