微納米科學技術導論

本書可供高等學校相關專業的研究生和本科學生作為教材，也可供從事微/納米科技工作的人員作為參考。

基本介紹

• 書名：微納米科學技術導論
• 作者：賈寶賢，李文卓
• ISBN：9787122008510
• 出版社：化學工業出版社
• 出版時間：2007-8-1
• 開本：16

內容介紹

本書介紹的主要內容有：掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡；分子操縱與組裝技術；納米材料學；納米電子學；納米生物學；微細加工技術、微機械和微型機電系統。

涉及了微/納米技術的各分支領域，涵蓋了物理、化學、生物、材料、機電、航空航天、汽車、能源、微電子、測量、控制、計算機、信息、網路、醫藥、紡織、軍事、製造等各方面，可以說，本書內容與理、工、農、醫中的各個專業都有聯繫。

作者簡介

姓名：賈寶賢李文卓著

作品：《微納米科學技術導論》

目錄

第1章概論

1.1微/納米科學技術的定義與內涵

1.2微/納米科學技術的發展

1.3微/納米科學技術在國民經濟中的意義

習題

參考文獻

第2章掃描探針顯微鏡

2.1掃描隧道顯微鏡

2.1.1掃描隧道顯微鏡發明前的微觀形貌檢測技術

2.1.2掃描隧道顯微鏡的發明

2.1.3掃描隧道顯微鏡的工作原理

2.1.4掃描隧道顯微鏡的工作模式

2.1.5掃描隧道顯微鏡的工作環境

2.1.6掃描隧道顯微鏡的針尖製作技術

2.2原子力顯微鏡

2.2.1原子力顯微鏡的基本原理

2.2.2原子力顯微鏡微懸臂偏轉的檢測方法

2.2.3原子力顯微鏡的微懸臂及針尖

2.3其他形式的探針顯微鏡

習題

參考文獻

第3章分子操縱技術

3.1掃描隧道顯微鏡單原子操縱技術

3.1.1單原子的移動

312單原子的提取26

313單原子的放置28

314單原子操縱小結30

32原子力顯微鏡的納米加工技術31

321矽材料表面上納米細線結構的

刻蝕32

322陽極氧化法納米結構的加工33

323用SPM直接對工件進行雕刻

加工34

33光學鑷子及其微操縱技術34

34分子組裝技術35

習題36

參考文獻36

第4章納米材料學37

41納米材料的分類37

42納米顆粒38

421納米顆粒的表面效應39

422納米顆粒的小尺寸效應39

423納米顆粒材料的製備技術40

43納米薄膜41

431納米薄膜的分類41

432納米薄膜的製備方法42

44納米塊體材料42

441納米塊體材料的結構特點42

442納米塊體材料的性能43

45原子團簇和碳納米管43

451原子團簇43

452碳團簇和C6044

453碳納米管47

46納米複合材料52

461納米複合材料的分類52

462納米複合材料的套用53

習題60

參考文獻60

第5章納米電子學62

51概述62

52微電子技術的發展和面臨的限制63

521微電子技術的發展63

522微電子技術發展所面臨的障礙64

53納米電子學的出現與發展65

54納電子學基本知識66

541量子效應66

542庫侖阻塞和單電子隧穿66

55納電子器件68

551納電子器件的特徵與特性68

552量子電系統的基礎元件69

553納米級單電子器件70

554分子電子器件74

555原子電子器件79

556量子計算機81

56三代電子器件的對比84

習題85

參考文獻85

第6章納米生物學87

61納米生物學的提出與發展87

62生物分子的探測與操縱87

621單分子成像87

622單分子納米操縱89

623分子間相互作用力的測量90

63生物晶片90

631生物晶片概述90

632生物晶片的分類90

633樣品製備型生物晶片91

634生化微反應晶片92

635檢測型生物晶片92

636微縮晶片實驗室93

64生物感測器95

641生物感測器的原理95

642生物感測器的種類95

65生物分子計算機96

66生物分子馬達99

67生物分子機器人100

習題103

參考文獻103

第7章微細加工技術104

71概述104

72微細切削技術106

721微細切削技術基礎106

722微細車削108

723微細銑削110

724微細鑽削111

725微細衝壓112

726攜帶型工廠113

73微細特種加工114

731微細電火花加工115

732微細電解加工117

733微細超聲加工118

734微細雷射加工119

735電子束加工121

736離子束加工122

74光刻技術123

741光刻技術的主要工藝內容123

742光刻掩膜製作124

743光刻中的能量束掃描曝光

技術124

744光刻工藝中的化學刻蝕技術125

75LIGA技術126

751LIGA工藝過程126

752LIGA技術的特點127

753準LIGA技術127

754LIGA技術在微製造中的

套用128

76生物製造技術129

761微結構和生物組織的生物加工

技術130

762生物組織的機械製造生物製造

工程131

習題134

參考文獻134

第8章微機械和微機電系統135

81概述135

82微機械和微機電系統的相關基礎136

821物理參量的微尺寸效應136

822微機械中的常用材料136

823微機械和微機電系統的技術

基礎138

83微感測器139

831機械量微感測器139

832熱微感測器142

833光微感測器142

834化學和電化學微感測器143

84微致動器144

841靜電型微致動器145

842電磁型和磁致伸縮型微致

動器146

843壓電型微致動器146

844熱變形微致動器148

845微機電系統的能源148

85微機器人149

851微機器人概述149

852微機器人實例150

86微飛行器153

861微飛行器概述153

862微飛行器實例154

87微型衛星159

871微型衛星概述159

872微型衛星實例160

習題161

參考文獻161