《用原子力顯微鏡實現瞬態信號的高時空分辨力檢測》是依託北京理工大學，由藍天擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：用原子力顯微鏡實現瞬態信號的高時空分辨力檢測
- 依託單位：北京理工大學
- 項目負責人：藍天
- 項目類別：面上項目
- 批准號：60772064
- 申請代碼：F0111
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2008-01-01 至 2010-12-31
- 支持經費：30（萬元）
項目摘要
本項目的研究內容分為三部分，即⑴用原子力顯微鏡進行測量的位置反饋控制，結合泵浦－探測技術，構建高速AFM瞬態檢測系統。包括AFM微懸臂光導探測頭的研製，泵浦－探測光路的實現，聲光調製的引入，在光路中加入單模光纖導入泵浦信號，並預先用光柵對進行色散補償，以提高測量的重複性等；⑵對薄膜異質基底LT-GaAs光導開關的最佳化研究是提高系統時間分辨力的關鍵；通過對LT-GaAs光導開關上導電和不導電錶面的瞬態場的測量，構建器件表面瞬態場的分布，分析進而了解器件的工作狀態；⑶通過對微懸臂光導探測頭拾取信號的作用機理研究，分析並提高檢測系統的空間分辨力。這項研究利用原子力顯微鏡控制檢測的空間位置，將超快掃描隧道顯微鏡對高頻器件的標定由金屬和重摻雜半導體表面拓展到任意器件表面，為高頻微型器件的設計和誤差分析提供依據。進而對降低器件加工的環境控制成本、節約能源等具有重要意義和實用價值。
