XPS光電子能譜儀

XPS光電子能譜儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2018年9月11日啟用。

基本介紹

• 中文名：XPS光電子能譜儀
• 產地：日本
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2018年9月11日
• 所屬類別：分析儀器 > X射線儀器 > X射線能譜儀

技術指標

1. AlKα/AgLα單色化雙陽極XPS 1.1 *射簽台全線挨鞏祝源類型：水冷Al/Ag靶射線源； 1.2 *最大功率：不低於500W； 1.3 單色器：500mm羅蘭圓石英晶體單色器； 1.4 靶點更換夜舟蜜地：至少可更換8個Al、4個Ag的新鮮靶點；地犁 1.5 分析束斑大小：最大束斑不小於200μm，最小束斑滲頁符笑不大於15μm。

主要功能

XPS與成像功能和離子濺射刻蝕相結合，可以用於固體表面元素成鑽察遙分及價態的面分布和深度剖析船說櫻。