X-光電子能譜儀

X-光電子能譜儀是一種用於物理學、化學、生物學、材料科學領域的分析儀器，於2011年12月28日啟用。

技術指標

1、真空度：≤4X10-6Pa；2、能量範圍：0-1200電子伏特；3、X-ray類型：錐形雙陽極Mg或Al的Kа射線；4、最佳能量解析度：<0.8電子伏特；5、靈敏度：700,000CPS；6、分析器：低通或高通(杜邦型)；7、探測器：單通道；8、高速離子槍束斑：5-10mm；9、樣品處理尺寸：直徑≤10mm直徑，厚度≤5mm。

主要功能

本儀器適合測試固體或粉末材料的表面元素組分和化學狀態，並可深度刻蝕分析和進行催化反應等。