XPS樣品原位處理器

XPS樣品原位處理器是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2017年12月7日啟用。

基本介紹

• 中文名：XPS樣品原位處理器
• 產地：英國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2017年12月7日
• 所屬類別：分析儀器 > 樣品前處理及製備儀器

技術指標

3.1 惰性氣氛樣品處理倉 *3.1.1 氧殘留量<1ppm *3.1.2 水份殘留量<1ppm 3.1.3 大樣品傳送倉拔講戲門 *3.1.4 與型號為K-Alpha+的挨鞏祝X射線光電子能譜儀對接的標準接 3.2 惰性氣氛樣品轉移倉； 3.2.1 可實現在惰性氣氛下處理樣品，但是在抽真空時刻將樣品直接傳輸至X射線光電子能譜儀進行測試 3.2.2 包含一套樣品夾 *3.2.3 最大樣品厚度不小於9mm 3.3 微聚焦單色化（Al Kα）X射線源 3.3.1 最小聚焦獲得束斑≤30 µm *3.3.2 束斑面積從30μm至400μm聚焦連續可調，步長不超過5µm 3.4 半球電子分析器 3.4.1 能量掃描範圍5eV-1500eV,最小能量步長3meV *3.4.2 通過能範圍1-400eV，付嚷淋盛連續可調，步長不超過1eV。

主要功能

用於樣品不接觸大氣夜舟霸定的樣品處理地犁及傳遞，實現無污染旬遷仔的X射線匪腿禁光電子能譜測試。