X光電子能譜儀

X光電子能譜儀是一種用於能源科學技術領域的分析儀器，於2010年10月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：X光電子能譜儀
• 產地：美國
• 學科領域：能源科學技術
• 啟用日期：2010年10月1日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子能譜儀

技術指標

最佳能量解析度＜30 μm，最佳能量解析度＜0.5 eV FWHM，C1s能量解析度＜0.85 eV，離子源能量範圍：100 eV至3 keV，最大束流：4 μA，在烘烤完成24小時後，分析室最佳真空：5×10-9 mbar。

主要功能

測量固體材料表面元素種類、含量及價態，以及樣品離子濺射後元素分析。