X射線光電子能譜分析儀

X射線光電子能譜分析儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2015年3月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：X射線光電子能譜分析儀
• 產地：日本
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2015年3月31日
• 所屬類別：分析儀器 > X射線儀器 > X射線能譜儀

技術指標

Ultimate energy resolution on Ag FWHM≤0.5 eV；XPS energy resolution on PET FWHM≤0.85eV。

主要功能

主要用於對樣品表面進行元素種類測定、同種元素不同化學狀態定性及定量分析等方面的表征。XPS的工作原理是用光子能量在1000～1500ev之間X射線去輻射樣品，使原子或分子的內層電子或價電子受激發射出來成為光電子，測量光電子的能量，以光電子的動能/束縛能binding energy,(Eb=hv光能量-Ek動能-w功函式)為橫坐標，相對強度（脈衝/s）為縱坐標可做出光電子能譜圖，從而獲得試樣表面化學狀態的有關信息。