XPS光電子譜儀

XPS光電子譜儀

XPS光電子譜儀是一種用於化學領域的分析儀器,於2014年11月5日啟用。

基本介紹

  • 中文名:XPS光電子譜儀
  • 產地:美國
  • 學科領域:化學
  • 啟用日期:2014年11月5日
  • 所屬類別:分析儀器 > X射線儀器 > X射線螢光光譜儀
技術指標,主要功能,

技術指標

1. X射線源 靶:單色化Al靶、雙陽極Al/Mg靶 能量解析度:0.45eV/(Ag 3d5/2) 0.82eV/(C 1s) 最小分析區域(收譜)20μm 靈敏度:1*106 cps 成像空間解析度:小於3μm。

主要功能

結合離子刻蝕技術還可以獲得元素及化學態深度分布信息;通過成像技術可以獲得元素及化學態的面分布信息;利用微聚焦X射線源或電子束可以獲得微區表面信息。

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