化學分析電子譜微探針X光電子能譜儀是一種用於化學領域的分析儀器，於2002年4月8日啟用。
基本介紹
- 中文名：化學分析電子譜微探針X光電子能譜儀
- 產地：美國
- 學科領域：化學
- 啟用日期：2002年4月8日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子能譜儀
技術指標,主要功能,
技術指標
X-ray光源：Al陽極靶，掃描式單色器； 束斑：10 μm~200 μm，一般100 μm~200 μm； 能量分析儀：180o半球形分析器+16通道檢測器， 基礎真空：5×10?1? torr 檢測範圍：原子序數大於He的所有元素； 檢測極限：0.5~0.01 atomic% 信息深度：0.5～7.5 nm 能量解析度：優於0.5 eV(Ag)； 空間解析度：優於10 μm 半定量：相對原子靈敏度因子法。
主要功能
檢測固體材料表面或縱深方向的元素組成及分布，通過元素結合能位置了解元素化學狀態或鍵合狀態。任何固體樣品均可，但不得具有磁性、毒性、輻射性及易揮發性。 具有先進的自動電中和功能，可消除非導體樣品的荷電位移影響； 儀器同時具有角分辨XPS功能及氬離子深度剖析功能； 具有元素影像掃描功能； 通過儀器附帶的SPS工作檯，可方便進行樣品元素的化學微區分析（100～200 μm）。
