X射線光電子譜儀

X射線光電子譜儀是一種用於化學、機械工程、材料科學、能源科學技術領域的分析儀器，於2016年11月10日啟用。

基本介紹

• 中文名：X射線光電子譜儀
• 產地：美國
• 學科領域：化學、機械工程、材料科學、能源科學技術
• 啟用日期：2016年11月10日
• 所屬類別：分析儀器 > X射線儀器 > X射線能譜儀

技術指標

1、能量掃描範圍：1～4000 eV 2、最佳能量解析度：≤0.45 eV（XPS），100 meV（UPS） 3、最佳空間解析度：≤3 μm (X射線光電子成像) 4、最佳靈敏度：1,000,000 cps (Mono XPS, Ag標樣3d5/2峰) 5、分析室最佳真空度：優於2×10-10 mbar 6、快速進樣室最佳真空度：7×10-9 mbar 7、分析室工作時的真空度：

主要功能

光電子能譜是研究材料表面和界面電子及原子結構的最重要手段之一， ESCALAB 250Xi型光電子能譜儀是一台多功能、高性能的表面分析儀器，用於研究固體材料表面的元素種類、化學價態以及相對含量，結合離子刻蝕技術可以獲得元素及化學態的深度分布信息；通過成像技術可以獲得元素及化學態的面分布信息；微聚焦X射線源或電子束可以獲得微區表面信息；紫外光電子能譜可用於研究固體樣品的價電子和能帶結構及功函式。