XPS光電子能譜儀

XPS光電子能譜儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2018年9月11日啟用。

基本介紹

• 中文名：XPS光電子能譜儀
• 產地：日本
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2018年9月11日
• 所屬類別：分析儀器 > X射線儀器 > X射線能譜儀

技術指標

1. AlKα/AgLα單色化雙陽極XPS 1.1 *射線源類型：水冷Al/Ag靶射線源； 1.2 *最大功率：不低於500W； 1.3 單色器：500mm羅蘭圓石英晶體單色器； 1.4 靶點更換：至少可更換8個Al、4個Ag的新鮮靶點； 1.5 分析束斑大小：最大束斑不小於200μm，最小束斑不大於15μm。

主要功能

XPS與成像功能和離子濺射刻蝕相結合，可以用於固體表面元素成分及價態的面分布和深度剖析。