表面微區電子離子束分析儀

表面微區電子離子束分析儀是一種用於環境科學技術及資源科學技術領域的分析儀器，於2007年10月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：表面微區電子離子束分析儀
• 產地：英國
• 學科領域：環境科學技術及資源科學技術
• 啟用日期：2007年10月31日
• 所屬類別：分析儀器 > X射線儀器 > X射線能譜儀

技術指標

X射線光電子能譜（XPS），可使用單色化Al靶及雙陽極Al/Mg靶X射線源，包括大面積XPS（0.8*2mm）,微區XPS（最小選區15μm）、深度剖析XPS及XPS成像。空間分析率＜3μm。

主要功能

主要用於固體表面的組成、化學狀態的分析。能進行定性、半定量及價態分析。