高分辨掃描電鏡是一種用於物理學、化學、生物學、材料科學領域的分析儀器，於2008年12月26日啟用。
基本介紹
- 中文名：高分辨掃描電鏡
- 產地：美國
- 學科領域：物理學、化學、生物學、材料科學
- 啟用日期：2008年12月26日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
高真空-0.8nmat30kV(STEM)-1.2nmat30kV(SE)-2.5nmat30kV(BSE)-3.0nmat1kV(SE)低真空-1.5nmat30kV(SE)-2.5nmat30kV(BSE)-3.0nmat3kV(SE)□加速電壓:200V–30kV□電流:upto100nAGENESISXM2forSEM掃描電鏡能譜儀Si(Li)液氮製冷型，超薄視窗，晶體活區面積10mm2。
主要功能
該設備用於研究材料的納米及軟物質材料的表面性質及進行化學成分的分析。譜定性分析：可自動標識譜峰，可進行譜重構，對重疊峰進行峰剝離；具有可判定定性分析準確性的HPD功能。譜定量分析：採用ZAF無標樣定量計算；具備定量面分布檢測功能線掃描和面掃描：能與電鏡主機系統配合實現元素線掃描和面掃描分析功能。
