高分辨掃描電子顯微鏡

高分辨掃描電子顯微鏡是一種用於化學、材料科學、環境科學技術及資源科學技術領域的分析儀器，於2018年11月07日啟用。

基本介紹

• 中文名：高分辨掃描電子顯微鏡
• 產地：日本
• 學科領域：化學、材料科學、環境科學技術及資源科學技術
• 啟用日期：2018年11月07日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

1.低加速電壓成像能力，1kv解析度可達1.3nm 2.不需噴鍍，可以直接觀測不導電樣品 3. 配置Lower、Upper和Top三個Everhart-Thornley型探測器 4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像。

主要功能

測試觀察固體材料的形貌，粒徑。