類金剛石薄膜的製備、結構與能研究

內容簡介

本書內容是近年來作者在鄭州輕工業大學、四川大學從事DLC薄膜研究的成果和學習心得，希望能為其他研究者和企業在DLC薄膜的套用方面提供基礎理論和技術經驗。本書共分為7章：第1章簡要介紹了類金剛石薄膜的發展史、組成、分類、結構模型、性質、生長機理、套用、製備方法以及套用中存在的問題、解決方法；第2章主要介紹了中頻脈衝非平衡磁控濺射技術及研究過程中所使用的測試方法的原理、設備型號；第3章主要通過文獻調研並結合作者的科研結果探索了一種拉曼光譜分析DLC薄膜中sp3含量的新經驗模型；第4章主要介紹了基體偏壓、梯度偏壓、基體溫度、中頻電流、靶-基距對無氫的DLC薄膜的結構與性能的影響規律；第5章主要介紹了碳源氣體、沉積氣壓、進氣比例對含氫的DLC薄膜的結構與性能的影響規律；第6章主要介紹了在Ge和ZnSe基體上塗覆GexC1-x/DLC薄膜系前後透過率的變化、砂塵沖刷實驗和淋雨實驗結果；第7章對本書的研究結論進行了總結。

圖書目錄

1 類金剛石薄膜簡介

1.1 引言

1.2 類金剛石薄膜的發展史

1.3 類金剛石薄膜的組成

1.4 類金剛石薄膜的分類

1.5 類金剛石薄膜的結構模型

1.6 類金剛石薄膜的性質

1.7 類金剛石薄膜的生長機理

1.8 類金剛石薄膜的套用

1.9 類金剛石薄膜的主要製備方法

1.10 類金剛石薄膜在套用中存在的問題及解決方法

2 實驗製備類金剛石薄膜的方法、設備與測試方法

2.1 中頻脈衝非平衡磁控濺射

2.2 實驗裝置

2.3 分析方法

3 一種拉曼光譜分析類金剛石薄膜中sp3含量的新標準

3.1 一種拉曼光譜分析DLC薄膜中sp3含量的新標準的提出

3.2 小結

4 無氫的類金剛石（a-C）薄膜的結構與性能

4.1 基體偏壓對a-C薄膜結構與性能的影響

4.2 梯度偏壓對a-C薄膜結構與性能的影響

4.3 基體溫度對a-C薄膜結構與性能的影響

4.4 中頻電流對a-C薄膜結構與性能的影響

4.5 靶-基距對a-C薄膜結構與性能的影響

5 含氫的類金剛石（a-C:H）薄膜的結構與性能

5.1 碳源氣體對a-C:H薄膜結構和性能的影響

5.2 沉積氣壓對a-C:H薄膜結構與性能的影響

5.3 進氣比例對a-C:H薄膜結構與性能的影響

6 GexC1-x/DLC薄膜系的增透效果、砂塵沖刷和淋雨實驗

6.1 Ge和ZnSe基體上塗覆GexC1-x/DLC薄膜系前後透過率的變化

類金剛石薄膜的製備、結構與能研究

基本介紹

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