《金剛石基LiNbO3壓電薄膜的製備與聲表面波性能研究》是依託鄭州大學，由王新昌擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：金剛石基LiNbO3壓電薄膜的製備與聲表面波性能研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：王新昌
- 依託單位：鄭州大學
- 批准號：50702051
- 申請代碼：E0206
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2008-01-01 至 2010-12-31
- 支持經費：20（萬元）
項目摘要
c軸LiNbO3/金剛石/矽多層結構在高頻SAW器件中具有廣闊的套用前景。本項目擬在LiNbO3與金剛石之間引入與LiNbO3具有相反溫度係數的緩衝層如非晶SiO2，以解決由於金剛石高溫易氧化及金剛石與LiNbO3之間存在較大的晶格失配導致高質量c軸LiNbO3薄膜難以製備且多層結構的溫度係數較大的問題。採用脈衝雷射沉積法製備LiNbO3薄膜，探索工藝參數對非晶SiO2作為緩衝層的金剛石/矽襯底上製備LiNbO3薄膜的取向性、結晶質量、化學計量比及表面形貌的影響，最佳化工藝參數，闡明非晶SiO2上LiNbO3薄膜取向生長的物理機制，研究緩衝層和LiNbO3膜對多層結構聲表面波性能的影響；通過理論分析獲得優異的緩衝層備選材料，並研究部分緩衝層備選材料對LiNbO3膜的製備與多層結構聲表面波性能的影響，探索優異的緩衝層材料，為LiNbO3薄膜高頻SAW器件的研製奠定基礎。
