《內耗方法研究金剛石薄膜雜質、缺陷和晶界狀態》是依託中國科學技術大學，由王冠中擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：內耗方法研究金剛石薄膜雜質、缺陷和晶界狀態
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：王冠中
- 依託單位：中國科學技術大學
- 批准號：19204011
- 申請代碼：A2001
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：1993-01-01 至 1995-12-31
- 支持經費：3（萬元）
中文摘要
對金剛石薄膜進行了一系列內耗譜研究，通過計算和除襯底的影響，獲得金剛石薄膜微結構及雜質的內耗譜特徵。通過改善金剛石薄膜製備條件的可控程式，增強了內耗譜與製備條件的可比較性，發現樣品製備條件如襯底溫度，氣源中非碳氫氣體的含量等因素對內耗譜的影響，這反映了這些因素對金剛石薄膜質量的影響，對於表征金剛石薄膜質量特性的光學吸收，光散射和熱傳導性質作了一系列研究，提出金剛石薄膜質量判斷方法的改進建議。在對薄中金剛石成分與石墨結構成分比例的光學參數估計中，改進後的主法所得的結果更接近實際。在金剛石薄膜內耗譜與薄膜光學性質的對比研究中得到較小的吸收係數的薄膜具有較簡單的內耗譜。
