金剛石薄膜的製備與套用

內容簡介

具有優異特性的金剛石薄膜是材料界的研究熱點之一，在高新科技套用領域具有重要作用。本書較全面、系統地介紹了當前國內外有關金剛石薄膜的製備方法和其在高新技術方面的套用。主要內容包括：金剛石薄膜的微觀結構；力學、熱學、光學、電學特性、金剛石薄膜的各種電子器件以及在光學視窗、X射線、場電子發射、感測器、表面聲波濾波器、塗層刀具等方面的套用。本書的科學性、系統性強，概念清楚，敘述簡明扼要，內容上反映了當前學科最前沿水平。

目錄信息

第1章金剛石薄膜的結構、特性及研究現狀1

11金剛石薄膜的結構2

111金剛石薄膜的結構2

112類金剛石薄膜的相結構和特性5

12金剛石薄膜的優異特性7

13金剛石薄膜的研究現狀13

131研究歷史13

132金剛石薄膜合成的新技術13

14金剛石薄膜發展前景15

參考文獻18

第2章金剛石薄膜的合成方法19

21微波電漿法20

211微波電漿放電基本原理20

212微波電漿反應器類型31

22電漿噴射法39

221電漿噴射法原理39

222直流弧光噴射41

223射頻電感耦合電漿噴射42

224微波電漿噴射43

23熱絲法44

231基本工作原理與設備44

232源氣體組合45

233熱絲材料45

234強迫對流的HFCVD46

235用HFCVD法的金剛石織構和外延生長46

24其他CVD方法47

241低溫金剛石沉積47

242雷射輔助金剛石膜的合成49

243鹵化CVD金剛石沉積54

244水熱法生長金剛石膜55

245燃燒火焰法55

參考文獻57

第3章異質外延和高取向金剛石沉積59

31在各種襯底上的異質外延和高取向金剛石膜60

311金屬襯底60

312cBN襯底63

32在SiC和Si上的成核和生長64

33選擇生長和表面形貌69

34異質外延金剛石膜的電學性質72

參考文獻75

第4章金剛石薄膜的熱學、光學和力學性質及套用77

41金剛石膜的熱學性質及套用77

411絕緣體的熱導率77

412金剛石薄膜中聲子散射機理78

413金剛石薄膜熱導率的測量方法（穩態技術法）84

42金剛石膜的光學性質及套用86

421金剛石膜的光學特性86

422金剛石膜作為紅外視窗材料和性能90

423金剛石視窗的製備95

43金剛石膜的力學性質及塗層刀具97

431金剛石薄膜塗層刀具特點（切削性能）97

金剛石薄膜的製備與套用

基本介紹

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