依託於西安工業大學的“陝西省薄膜技術與光學檢測重點實驗室”成立於1999年，在上級和學校的支持下，實驗室整體實力不斷增強，成為西北地區高校光學工程學科領域條件最好的實驗室之一。以省級重點實驗室為基礎，又拓展了“陝西省薄膜技術與微光電器件軍民兩用技術工程中心”和國家光電子成果轉化及產業化基地“光電薄膜與器件研發服務中心”兩個省級重點科研基地。
基本介紹
- 中文名：陝西省薄膜技術與光學檢測重點實驗室
- 性質：重點實驗室
- 目的：薄膜技術與光學檢測
- 地點：陝西省
實驗室簡介,研究方向,領導班子,
實驗室簡介
實驗室含光學工藝、光學檢測、薄膜技術、微光電器件製造與檢測等實驗室，擁有光學零件加工與檢測、光學薄膜製造與檢測、微光電器件製造與檢測等研究領域的關鍵技術裝備，設備總值3000餘萬元，是光學工程及相關專業的教學、科研實踐基地。光學工藝實驗室曾被評為“全國高校先進實驗室”。
研究方向
薄膜與電漿技術
類金剛石薄膜的製造與套用技術；紅外光學薄膜製造技術；抗雷射損傷薄膜製造技術；低損耗光學薄膜製造技術；薄膜製造過程中的（等）離子束髮生與套用技術；超硬薄膜製造技術等。
光學製造與檢測技術
光學零件面形檢測技術（非球面、球面、高精度平面）、表面微觀檢測技術（超光滑表面粗糙度、亞表層損傷、微觀輪廓）、物體的三維輪廓測量、雷射測距技術。
微光電器件製造技術及套用
常溫熱成像材料與器件的微製造、檢測、套用技術；多功能感測器集
成製造技術；納米材料與器件；低維聚合物製備與改性； MEMS與MOEMS工藝技術及其在光學元件製造中的套用。
領導班子
實驗室主任： 劉衛國 教授
實驗室副主任：杭凌俠 教授（常務）
彌 謙 教授
