《（類）金剛石薄膜特徵表面製造與機理研究》是依託中國科學技術大學，由朱曉東擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：（類）金剛石薄膜特徵表面製造與機理研究
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：朱曉東
- 依託單位：中國科學技術大學
- 支持經費：25（萬元）
- 研究期限：2005-01-01 至 2007-12-31
- 負責人職稱：教授
- 申請代碼：E0203
- 批准號：50472010
中文摘要
（類）金剛石有多方面優異的物理和化學性能，在一些方面也得到初步的套用，但是它們本身的優異性能還遠遠沒有發揮出來，依賴於（類）金剛石膜更深層次包括表面特性的研究，尤其是納米尺度上薄膜表面的製造和物理研究。從表面科學的研究來看，薄膜形成中的動力學演變牽涉到複雜的物理過程，最終的表面相貌是表面粗造和平滑過程相互作用的結果。對薄膜表面形成機理的理解是實現在納米尺度上對表面形貌控制的基礎。因此，納米尺度上（類）金剛石表面的研究無論是從拓展它們的套用領域、發掘新的生長點，還是從表面科學發展的角度來說都是十分有意義的。本研究擬通過在低氣壓（類）金剛石合成非平衡過程中通過工藝的合理設計，驅動不同程度粗造和平滑過程，在電場、溫度場和應力場中自組化形成（類）金剛石的特徵表面。利用電漿與薄膜表面的相互作用，誘發特徵的（類）金剛石表面自組形成。研究（類）金剛石表面的動力學演變，探討特徵表面形成的物理機制。
