電子探針系統

電子探針系統是一種用於數學領域的分析儀器，於2013年6月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：電子探針系統
• 產地：日本
• 學科領域：數學
• 啟用日期：2013年6月1日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子探針

技術指標

儀器配置：四通道、八塊分光晶體 （其中包括用於測試B、C、N、O等輕元素的LDE1H、LDE2H晶體）電 子 槍： LaB6分 辨 率：5nm（SEI）加速電壓：0.2-30kV探針束流：10-12-10-5A放大倍數：40-30萬倍元素範圍：B(5)-U(92)。

主要功能

該儀器可用於樣品中微區元素的定性、定量分析。可測試元素的範圍為B-U。波譜儀配備四通道、八塊晶體（包含測試輕元素的兩塊晶體），可進行圖像觀察、元素定性、定量、線掃描、面掃描等測試。測試靈敏度、解析度、準確度等指標都高於通常的能譜儀。