電子探針顯微系統

電子探針顯微系統是一種用於化學、材料科學、物理學領域的分析儀器，於2019年6月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：電子探針顯微系統
• 產地：日本
• 學科領域：化學、材料科學、物理學
• 啟用日期：2019年6月30日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子探針

技術指標

（1）二次電子像解析度：≤ 3 nm（加速電壓30 kV）；（2）背散射電子像解析度：≤ 20 nm（拓撲像、成分像）；（3）電子槍：肖特基場發射電子槍；（4）加速電壓：0.5～30 kV；（5）最大束流：≥3 μA；（6）束流穩定度：≤ ±0.3%/h （50 nA@10 kV）。

主要功能

5B～92U元素定性、定量、線掃、面掃分析（波普功能）以及SEM的所有功能。