電子探針X射線顯微分析儀

電子探針X射線顯微分析儀，簡稱電子探針。是指以聚焦的高速電子來激發出試樣表面組成元素的特徵X射線，並根據X射線的波長和強度，對微區成分進行定性或定量分析的一種材料物理儀器。電子探針分析的原理是以電子束轟擊試樣表面，擊出表面組成元素的原子內層電子，使原子電離，此時外層電子迅速填補空位而釋放能量，從而產生特徵X射線。不同的元素有不同的X射線特徵波長和能量。通過鑑別其特徵波長或特徵能量就可以確定所分析的元素。電子探針有三種基本工作方式：一是點分析，用於選定點的全譜定性分析或定量分析；二是線分析，用於顯示元素沿選定直線方向上的濃度變化；三是面分析，用於觀察元素在選定微區內濃度分布。

電子探針可以對試樣中微小區域微米的化學組成進行定性或定量分析，除做微區成分分析外，還能觀察和研究微觀形貌、晶體結構等。電子探針技術具有操作迅速簡便、實驗結果的解釋直截了當、分析過程不損壞樣品、測量準確度較高等優點，在冶金、地質、土壤、生物、醫學、考古以及其他領域中得到日益廣泛套用，是土壤和礦物測試分析和樣品成分分析的重要工具。