半自動探針台

半自動探針台是一種用於信息科學與系統科學領域的分析儀器，於2004年3月17日啟用。

基本介紹

• 中文名：半自動探針台
• 產地：美國
• 學科領域：信息科學與系統科學
• 啟用日期：2004年3月17日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子探針

技術指標

支持4，5，6寸wafer 解析度0.25um 提供4個SMU接口，可同時輸出（測量）四路直流信號。 每個SMU最大輸出電壓100V(-100V),最大輸出電流1A 測量功率100V*10mA。 開路漏電流20fA。

主要功能

通過和外接的測試儀器4156C以及溫度控制設備TP03000A的連線，組成一個測試平台，完成對器件封裝前的電性能測試（電阻，C/V,擊穿特性等）。