片上測試探針系統是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2013年6月15日啟用。
基本介紹
- 中文名：片上測試探針系統
- 產地：美國
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2013年6月15日
- 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 電子探針
技術指標,主要功能,
技術指標
探針台主體包括：移動台、禁止系統、探針、變溫系統、光學與數字成像系統等。 基本系統技術指標包括： 1、移動台 1.1、X-Y方向 移動範圍：203 mm x 203 mm；解析度： ± 1 μm (0.04 mils)；精度： ≤ 2.5 μm (0.1 mils) 1.2、Z方向 移動範圍：5mm (0.19 in.)；解析度：1μm (0.04 mils)；精度：≤ 2μm (0.08 mils) 1.3、Theta自旋方向 移動範圍： ± 5.5° ；解析度：0.65μm (0.03 mils)*。
主要功能
半導體器件及晶片測試的主體平台。
