離子束切割拋光儀

離子束切割拋光儀是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2018年5月23日啟用。

基本介紹

• 中文名：離子束切割拋光儀
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2018年5月23日
• 所屬類別：工藝試驗儀器

技術指標

拋光角度: +10° 到 -10° ，每個離子槍可獨立調節 離子束能量: 100 V 到 8.0 kV 離子束流密度: 10 mA/cm2 峰值 拋光速度: 300 μm/h（8.0 kV條件下對於矽試樣）。

主要功能

樣品減薄、拋光。