離子束拋光儀

離子束拋光儀是一種用於電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，於2016年1月15日啟用。

基本介紹

• 中文名：離子束拋光儀
• 產地：中國台灣
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2016年1月15日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

CP樣品最大尺寸：長*寬*厚：8*8*2CP削切範圍：長*寬*厚：1.5*1.5*0.5mm。

主要功能

等離子拋光和切割。