離子研磨拋光儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2018年10月31日啟用。
基本介紹
- 中文名：離子研磨拋光儀
- 產地：奧地利
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2018年10月31日
- 所屬類別：分析儀器 > 樣品前處理及製備儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
1. 離子槍類型：鞍式離子槍（3隻）；2. 離子束能量：1 keV – 10 keV；3. 離子束密度：10 mA/cm2（單個離子槍）；4. 切割速率（邊緣50μm處）：2.5 μm / min （100% Si:10 keV，3.5 mA）；5. 工作氣體：氬氣，純度99.999%；6. 樣品尺寸：表面拋光最大可容納樣品φ38mm，厚 度12mm；7. 橫截面切割：樣品尺寸小於10mm（長）×7mm（寬）×4mm（厚）。
主要功能
離子束切割及研磨。
