表面掃描探針顯微系統

表面掃描探針顯微系統是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2009年10月15日啟用。

基本介紹

• 中文名：表面掃描探針顯微系統
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2009年10月15日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 掃描探針顯微鏡

技術指標

SPM解析度：7*7矽表面原子分辨；溫度範圍：30K~1000K；背景真空：2*10^-10Torr；掃描範圍：5微米；偏壓：0~5V。

主要功能

能夠提供全部的原子力顯微鏡和掃描隧道顯微鏡成像技術，提供材料和器件在原子水平上的表面特徵，給材料和器件的製備提供指導。