多模式掃描探針顯微鏡是一種用於物理學、化學、材料科學領域的分析儀器，於2005年11月15日啟用。
基本介紹
- 中文名：多模式掃描探針顯微鏡
- 產地：俄羅斯聯邦
- 學科領域：物理學、化學、材料科學
- 啟用日期：2005年11月15日
- 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 掃描探針顯微鏡
技術指標,主要功能,
技術指標
橫向(X、Y)解析度：0.1-0.3nm縱向(Z)解析度：0.01nm3.樣品受力大小：1e-9nN4.放大倍數：1e95.掃描範圍：50X50X3um6.最小掃描步長：0.006n7.掃描類型：移動樣品、或探針移動8.樣品最大範圍：40X40X10mm。
主要功能
可以在大氣環境下測試導體、半導體、絕緣體薄膜樣品表面二維、三維形貌，均方根粗糙程度，具有樣品製備要求簡單，非損傷性測量，可以達到原子級別的圖像。
