多功能掃描探針顯微鏡的研製與套用

《多功能掃描探針顯微鏡的研製與套用》是由中國地質大學(北京)擔任第一完成單位,由施倪承、白春禮、戴長春、黃桂珍、張新文擔任主要完成人的科研項目。

基本介紹

  • 中文名:多功能掃描探針顯微鏡的研製與套用
  • 成果登記號:19970073[08212]
  • 第一完成單位:中國地質大學(北京)
  • 項目類別:科研項目
成果信息,成果摘要,

成果信息

成果登記號
19970073[08212]
項目名稱
多功能掃描探針顯微鏡的研製與套用
第一完成單位
中國地質大學(北京)
主要完成人
施倪承、白春禮、戴長春、黃桂珍、張新文
研究起始日期
1995-10-01
研究終止日期
1997-01-01
主題詞
掃描隧道顯微鏡;電子學科;套用;掃描探針顯微鏡
任務來源
B

成果摘要

“多功能掃描探針顯微鏡的研製與套用”項目研製的多功能掃描探針顯微鏡(CSPM是一種配置有雷射探測系統)的具有STM(掃描隧道顯微鏡)、AFM(原子力顯M,側向力顯微鏡)等多模式和多功能的納米級探測儀器。它是集雷射檢號檢測技術、精密機械加工、自動控制及先進的計算機軟硬體技術於一品。儀器是在CSPM9000型掃描探針顯微鏡基礎上配置了雷射探頭改進了控制電路及計算機軟體而研製成功的。儀器的主要性能是實現了米量級至微米量級的跨越。在多模式下掃描範圍可從10AX10A至15μ。橫向解析度在STM模式下達1A,在AFM模式下可達3A。該儀器大部分採用國儀器探頭、顯微鏡光學及CCD系統、控制電路、計算機數據採集及圖像獨到之處。儀器具有自動化程度高、便於操作、性能穩定、重現性良好高等特點。該儀器主要技術指標達到國際同類儀器先進水平。用這台儀器觀察了大規模積體電路晶片、光碟、軟磁碟、鎳氫電極、鍍、稀土氧化物拋光粉及北京平谷火山岩,得到了極有價值的數據和資料

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