能量型X射線螢光光譜儀是一種用於電子與通信技術領域的分析儀器，於2015年7月31日啟用。
技術指標,主要功能,
技術指標
分析範圍：Na11-U92，檢測範圍：0.001-100%。
主要功能
元素成分分析。
能量型X射線螢光光譜儀
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