納米真空互聯綜合實驗站

納米真空互聯綜合實驗站是實驗站名稱

基本介紹

• 中文名：納米真空互聯綜合實驗站
• 機構地址：中國江蘇蘇州工業園區

2017年3月28日，世界首個集材料生長、器件製備、測試分析為一體的納米領域大科學裝置——納米真空互聯綜合實驗站正在中國江蘇蘇州工業園區建設。

納米真空互聯綜合實驗站總體方案是：用總長近500米的超高真空管道，將上百台用於材料生長、器件製備、測試分析的大型儀器設備互聯，實現樣品在不同設備之間傳送時其表面不被氧化、沾污，不被外界大氣環境所破壞。中科院蘇州納米技術與納米仿生研究所研究員、納米真空互聯實驗站常務副總指揮丁孫安說，實驗站通過超高空間分辨、時間分辨、能量分辨、質量分辨等的高端能力儀器設備，對物質的“本徵性質”進行研究，從而實現量子材料的設計、製備和表征，後摩爾時代器件加工和測試分析，同時開展新材料、新工藝、新結構和新功能的開發和研究，以及形成第三代半導體工藝包。