熱場發射掃描電鏡

熱場發射掃描電鏡是一種用於物理學、材料科學、能源科學技術領域的分析儀器，於2012年10月22日啟用。

基本介紹

• 中文名：熱場發射掃描電鏡
• 產地：捷克
• 學科領域：物理學、材料科學、能源科學技術
• 啟用日期：2012年10月22日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

1.放大倍數：35—90萬倍；2.解析度：工作電壓15kV時解析度為1.0nm3.加速電壓：0.2Kv—30Kv;4.能譜：探測元素範圍B5-U92，能量解析度：136eV。

主要功能

物理學,材料科學,能源科學技術。