台式場發射掃描電鏡

台式場發射掃描電鏡是一種用於力學、材料科學領域的分析儀器，於2015年12月17日啟用。

基本介紹

• 中文名：台式場發射掃描電鏡
• 產地：中國
• 學科領域：力學、材料科學
• 啟用日期：2015年12月17日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 掃描探針顯微鏡

技術指標

電子束工作電壓：500—2000V；電子束電流：0.2—1nA；解析度：電子束工作電壓1Kv時＜10nm；放大倍數：250—65,000X；掃描範圍：1x1mm（max）；樣品大小100x60mm（max）。

主要功能

一種微觀性貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。