極大規模積體電路製造裝備及成套工藝是國家科技重大專項。
發展歷程
2018年5月24日，國家科技重大專項“極大規模積體電路製造裝備及成套工藝”專項實施管理辦公室組織任務驗收專家組、財務驗收專家組對02重大專項“極紫外光刻膠材料與實驗室檢測技術研究”項目進行了任務驗收和財務驗收。
極大規模積體電路製造裝備及成套工藝是國家科技重大專項。
極大規模積體電路製造裝備及成套工藝是國家科技重大專項。發展歷程2018年5月24日，國家科技重大專項“極大規模積體電路製造裝備及成套工藝”專項實施管理辦公室組織任務驗收專家組、財務驗收專家組對02重大專項“極紫外光刻膠材...
各有關單位: 國家科技重大專項“極大規模積體電路製造裝備及成套工藝”(簡稱02專項)根據實施方案和“十二五”實施計畫,安排一批擬於2014年啟動的研發項目在全國公開發布,通過競爭擇優方式選擇優勢單位,組織產學研用聯盟承擔項目。
現任國家重大專項(02專項)“極大規模積體電路製造裝備及成套工藝”總體組技術專家、02專項光刻機指揮部成員，主持自然科學基金面上項目一項，國家重大科技專項02專項課題一項。近幾年在期刊和國際會議上發表論文20餘多篇；申請發明專利22項...
繼續抓緊抓好高端數控工具機與基礎製造裝備、大飛機、大型先進壓水堆和高溫氣冷堆核電站、極大規模積體電路製造裝備及成套工藝等科技重大專項的實施工作，開發關鍵製造裝備，突破核心共性技術，為實現我國高端裝備產業化提供基礎支撐。（五）加大...
聯盟將力促“核心電子器件、高端通用晶片及基礎軟體產品”“極大規模積體電路製造裝備與成套工藝”“新一代寬頻無線移動通信網”等3個重大專項成果的對接與整合，為“十三五”電子與信息領域重大專項順利實施提供重要支撐。聯盟還將致力於...
02專項，即：《極大規模積體電路製造裝備及成套工藝》項目，因次序排在國家重大專項所列16個重大專項第二位，在行業內被稱為“02專項”。項目介紹 02專項在“十二五”期間重點實施的內容和目標分別是：重點進行45-22納米關鍵製造裝備攻關...
為推動我國積體電路產業的跨越發展，也為推進我國工業化和信息化進程，國家在2006年發布的《國家中長期科學和技術發展規劃綱要（2006-2020）》中將“極大規模積體電路製造裝備及成套工藝”明確為重大專項。通過這一專項的實施，已經取得了...
朱煜，男，1965年1月出生，2001年畢業於中國礦業大學，博士學歷，2004年起在清華大學任教。現為清華大學機械工程系長聘教授、博士生導師。擔任國家“極大規模積體電路製造裝備及成套工藝”科技重大專項實施方案編制專家組和總體專家組副組長...
在美國、歐洲、台灣分別設有研發基地，海外專家近200名；境內擁有TFT-LCD工藝技術國家工程實驗室和3個博士後工作站，是北京數位電視系統國家工程實驗室成員之一；“十一五”期間承擔“極大規模積體電路製造裝備及成套工藝”國家科技重大專項4...
1966年1月出生，博士，研究員，博士生導師，國家科技重大專項“極大規模積體電路裝備及成套工藝”總體組專家，國家“光刻設備產業技術創新戰略聯盟”秘書長，上海微電子裝備有限公司副總工程師。中國光學學會製造技術專業委員會常務委員。人物...
是“極大規模積體電路製造裝備及成套工藝”國家重大專項中“高密度三維系統級封裝的關鍵技術研究”項目的牽頭單位。在研究中已取得了一批具有影響力的研究成果。研究室現設有光互連技術組與封裝技術組。在國家重大專項的支持下，該研究室將...
從2010年開始，在極大規模積體電路製造裝備與成套工藝專項（國家02重大專項）的資金支持下，研發電晶體射頻電源，2011年研發成功300W-3000W電晶體射頻電源(13.56MHz)，獲得第七屆國際發明展覽會銀獎與第七屆北京發明創新大賽金獎。經過二...
極大規模積體電路製造裝備及成套工藝。重點實現90納米製造裝備產品化，若干關鍵技術和元部件國產化；研究開發出65納米製造裝備樣機；突破45納米以下若干關鍵技術，攻克若干項極大規模積體電路製造核心技術、共性技術，初步建立我國積體電路製造...
Auto ID）實驗室主任，兼任“909工程”的華虹積體電路設計公司總經理，“863專家委員會”委員，工業和信息化部“核心電子器件、高端通用晶片及基礎軟體產品”專家、國家發改委“極大規模積體電路製造裝備及成套工藝”重大專項論證委員會成員...
●關鍵技術開發:加快實施核心電子器件、高端通用晶片及基礎軟體產品科技重大專項和極大規模積體電路製造裝備及成套工藝科技重大專項,重點開發移動互聯、數模混合、信息安全、數位電視、射頻識別(RFID)、感測器等晶片,推動32/28納米先進工藝產業...
9．十一五國家科技重大專項：極大規模積體電路製造裝備及成套工藝子課題：真空泵轉子型線與流場分析 （2009ZX02014-002），2009.1 - 2013.12，課題執行負責人。10．國家科學儀器重大專項：渦旋真空泵流場及熱場分析。2014.1 – 2016....
"十- 五"國家科技重大專項“極大規模積體電路製造裝備及成套工藝”。(參與)國家863科技攻關計畫“採用空間正交調製雙頻正弦光柵的新型三維實時獲取原理、技術與裝置”。(參與)國家自然科學基金委員會與中國工程物理研究院聯合基金資助項目“...
組織實施科技重大專項，突破一批核心技術。在16個國家科技重大專項中，工業和信息化部組織實施或參與的有9個，包括“核高基”、極大規模積體電路製造裝備與成套工藝、新一代寬頻無線移動通信網、高解析度對地觀測系統等。強化標準管理，迅速...
新傲自成立以來，先後承擔了包括國家863計畫微電子配套材料重大專項、信息產業部電子發展基金重大項目、上海市科教興市重大產業科技攻關項目等多項重大政府研發課題和產業化項目，正在承擔國家“極大規模積體電路製造裝備及成套工藝”項目（02...
2．大規模積體電路製造裝備及成套工藝 重點進行45-22納米關鍵製造裝備攻關，開發32-22納米互補金屬氧化物半導體（CMOS）工藝、90-65納米特色工藝，開展22-14納米前瞻 性研究，形成65-45納米裝備、材料、工藝配套能力及積體電路製造產業鏈，...
從2010年開始受到極大規模積體電路製造裝備與成套工藝專項（國家02重大專項）資金支持，研發電晶體射頻電源，2011年研發成功300W-3000W電晶體射頻電源(13.56MHz)，獲得第七屆國際發明展覽會銀獎與第七屆北京發明創新大賽金獎。目前射頻電源...
Li, “Method and apparatus for phase-compensated sensitivity-enhanced spectroscopy (PCSES)”科研項目 現任“45-22nm OCD檢測系統研發與產業化”課題負責人, 該項目屬國家科技重大專項“極大規模積體電路製造裝備及成套工藝”(02)。
1月 超精密公司獲得國家科技重大專項02“極大規模積體電路製造裝備與成套工藝”項目。2010年 12月31日 本市中心城區有線電視數位化整體轉換已超220萬戶，基本完成市中心城區有線電視數位化整體轉換工；完成100萬戶NGB示範網建設，NGB項目...
（2）承擔國家科技重大專項“超大規模積體電路製造裝備及成套工藝”課題：45-22nm超低能注入設備輸片系統最佳化設計與控制算法研究，項目負責人，楊開明老師為項目首席專家。（3）參與國家科技重大專項“極大規模積體電路製造裝備及成套工藝”...
2007年1月，出任上海微系統所黨委書記兼副所長，上海新傲科技股份有限公司董事長，國家中長期科學與技術發展規劃“極大規模積體電路製造技術及成套工藝（02專項）”科技重大專項總體專家組副組長。2009年3月，擔任上海微系統所黨委書記、...
2.極大規模積體電路製造裝備及成套工藝專項。重點推進90-45納米（NM）光刻機的關鍵設備攻關和開發。3.新一代寬頻無線移動通信網專項。重點推進移動網際網路、寬頻集群系統、新一代無線通訊網和無線感測器網等方面的核心技術攻關及產業套用。
“極大規模積體電路製造裝備及成套工藝”重大專項按照地方專款預算管理的有關程式執行。第二十六條 重大專項資金納入國庫單一賬戶體系管理，實行國庫集中支付。項目（課題）承擔單位應當按規定開立特設賬戶。牽頭組織單位應當按照批覆的預算、用...