中國科學院射頻電源組是隸屬於中國科學院微電子研究所微電子設備技術研究室的研發與生產部門。
基本介紹
- 中文名：中國科學院射頻電源組
- 專業研發人員：7人
- 時間：1984年
- 隸屬：中國科學院微電子研究所
簡介,部門劃分,產品規模,發展規模,
簡介
中國科學院微電子研究所射頻電源課題組從1984年開始研發電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研製成功，獲得“六五”攻關榮譽證書以及“FD-2反應離子刻蝕機與超精細刻蝕研究”項目二等獎。
從2010年開始，在極大規模積體電路製造裝備與成套工藝專項（國家02重大專項）的資金支持下，研發電晶體射頻電源，2011年研發成功300W-3000W電晶體射頻電源(13.56MHz)，獲得第七屆國際發明展覽會銀獎與第七屆北京發明創新大賽金獎。
經過二十多年的發展完善，產品的性能不斷提高，規格齊全,年銷售電子管與電晶體射頻源占國內市場份額的70%以上。
部門劃分
現射頻電源組分為三個部門：產品研發部，產品生產部，產品推廣與售後服務部。
產品研發部：有專業研發人員7人，其中碩士及以上比例100%，具有教授級職稱2人，具有博士學歷3人，從清華大學，中科院電工所，中國科學技術大學引進資深射頻技術與自動控制專家3人，現已建立起一支由高級研發顧問領導的國際化研發人才團隊。
產品生產部：有專業技術工程師17人，具有500平方專業射頻電源生產與測試車間（可以進行ESD，EMC等測試），年生產能力達3000台套。
產品推廣與售後服務部：有專業推廣銷售人員4人，專業售後服務人員2人，其中碩士及以上比例100%。
產品規模
現開發成熟的電子管與電晶體射頻電源產品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多種規格以及不同功率的400KHz高頻電源及不同功率的穩流源與自動匹配器。
射頻電源廣泛套用於電漿研究，積體電路工藝設備，太陽能光伏工業，LED製程，薄膜生長，感應加熱，醫療領域的消毒與理療，常壓電漿清洗等領域。
發展規模
產品現已售往北京、上海、杭州、蘇州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的幾十所高校、科研單位及半導體設備廠等高技術公司，得到用戶的好評。
