朱煜(清華大學教授)

朱煜，學士、碩士、博士，清華大學教授，發表論文80餘篇，其中SCI、EI收錄40餘篇，引用110餘次，申請國家發明專利22項，美國專利2項。

學科領域

精密測量與控制理論、超精密機械設計與製造、電子製造工藝及其裝備等。

教育經歷

（1） 博士，中國礦業大學機械工程學院，2001年獲機械設計及理論工學博士學位；

（2） 碩士，中國礦業大學信息電子工程學院，1993年獲計算機套用工學碩士學位；

（3） 學士，北京師範大學無線電電子學系，1983年獲無線電電子學理學學士學位。

工作經歷

2004年～至今，清華大學精儀系製造所任教；

2001年～2004年，清華大學製造所博士後；

1999年～2001年，清華大學製造所訪問學者；

1983年～2004年，中國礦業大學任教。

科研工作

從事超精密機械與控制等方面研究，承擔973、863、國家自然基金項目10餘項，現為國家重大專項項目、重點基礎研究發展計畫（973計畫）課題負責人。共發表論文80餘篇，其中SCI、EI收錄40餘篇，引用110餘次，申請國家發明專利22項，美國專利2項。

代表性論文

（1） Yu Zhu,Songtao Jia,Yaying Chen,Guang Li. Electrorheological damper for the oltra-precision air bearing stage. Frontiers of Mechanical Engineering in China,2008.6,3（2）:158-163.

（2） Wei peng,Zhu yu,Tan Qiaofeng,Duan Guanghong,Gao Guohua. Discussion on the radial superresolution of the two-photon microfabrication. Key Engineering Materials,2007,329(): 601-605.

（3） Zhang Ming,Zhu Yu,Ren Gexue,Duan Guanghong. Finite element and experimental analysis on micro-vibration of ultra precision air bearing linear motion stage and methods of its elimination. onference MNC 2007,p83-87.

（4） Cheng Jia,Zhu Yu,Duan Guanghong,Chen Yangying. Three-dimensional discharge simulation of inductively coupled plasma etcher. Proceedings of the International Conference on Integration and Commercialization of Micro and Nanosystems 2007,p795-800.

（5） Chen Yaying,Zhu Yu,Duan Guanghong,Cheng Jia. STUDY ON MICRO STRAIN ELECTRORHEOLOGICAL DAMPER MODEL. Proceedings of MNC2007: International Conference on ntegration and Commercialization of Micro and Nano-systems Sanya,Hainan China,p1017-1022.

（6） Xu Dengfeng,Zhu Yu. Dynamic Analysis of A Gas Bearing Support Guide Way Through Simplified Beam Model. IET Conference Publications,n 524,International Technology and Innovation Conference 2006,ITIC 2006,2006,p 1184-1187.

（7） Zhang Ming,Zhu Yu,Ren Gexue,Duan Guanghong. Finite element and experimental modal analyses of ultra-precision air bearing linear motion stage. IET Conference Publications,n 524,International Technology and Innovation Conference 2006,ITIC 2006,2006,p 1721-1725.

（8） Cheng Jia,Zhu Yu. Influence of configurations of chamber and coil on uniformity of plasma distribution for inductively coupled plasma etcher. IET Conference Publications,n 524,International Technology and Innovation Conference 2006,ITIC 2006,2006,p 1113-1117.

（9） Wei.Peng,Zhu Yu,TAN.Qiaofeng and DUAN Guanghong. Discussion on the improved diffractive superresolution element of the two-photon microfabrication. IET Conference Publications,n 524,International Technology and Innovation Conference 2006,ITIC 2006,2006,p 1505-1508.

（10） Gao Guohua,Zhu Yu,Duan Guanghong. High Precision Formation for Two-Photon 3D Microfabrication. 2006 IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON ROBOTICS AND BIOMIMETICS,VOLS 1-3 : 1571-1575 2006.

（11） Cao Jiayong,Zhu Yu,et al．A novel synchronous permanent magnet planar motor and its model for control applications. IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS,JUN 2005,41 （6）: 2156-2163.

（12） Cao Jiayong,Zhu Yu,et al．Analysis and Comparison of 2-D Permanent Magnet Arrays for Planar Motor. IEEE Transactions on Magnetics,2004,40（6）：3490-3494.

（13） 朱煜，孟飈，等．並在線上構組合式自動建模研究.《北京航空航天大學學報》，2003.9,29（9）:774-778.

（14） 朱煜，汪勁松，等.並在線上構拓撲結構的字元串描述及其套用.《中國機械工程》，2003.6,14（12）:991-995.

（15） 朱煜，汪勁松，等．並在線上床數位化創新設計研究.《計算機集成製造系統CIMS》，2003.1,9（1）:61-68.

社會兼職

（1） “十五”“十一五”某領域國家重大專項諮詢組成員，專家組副組長；

（2） 《半導體學報》雜誌常務理事；

（3） 北京市電子製造裝備行業協會常務理事；

（4） 機械工程學會高級會員。